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飛秒激光刻蝕中壓電納米掃描臺(tái)的應(yīng)用!

更新時(shí)間: 2023-12-14

 


什么是飛秒激光



飛秒激光是人類在實(shí)驗(yàn)室條件下所能獲得最短脈沖的技術(shù)手段,是一種以脈沖形式運(yùn)轉(zhuǎn)的激光,持續(xù)時(shí)間非常短,只有幾個(gè)飛秒(英語(yǔ)為femto second,簡(jiǎn)寫為fs,1飛秒為1秒的一千萬(wàn)億分之一),它比利用電子學(xué)方法所獲得的最短脈沖要短幾千倍。飛秒激光技術(shù)是近年來(lái)發(fā)展迅速的一種先進(jìn)加工技術(shù),具有*高的加工精度和速度,可以在各種材料表面進(jìn)行微米至納米級(jí)別的刻蝕和加工。   


飛秒激光的特點(diǎn)



1、飛秒激光是我們?nèi)祟愒趯?shí)驗(yàn)條件下能夠獲得的最短脈沖,它的精確度是± 5微米;
2、飛秒激光有非常高的瞬間功率,它的瞬間功率可達(dá)百萬(wàn)億瓦,比*世界的發(fā)電總功率還要多出上百倍;
3、物質(zhì)在飛秒激光的作用下會(huì)產(chǎn)生非常奇特的現(xiàn)象,氣態(tài)的物質(zhì)、液態(tài)的物質(zhì)、固態(tài)的物質(zhì)瞬間都會(huì)變成等離子體;
4、飛秒激光具有精確的靶向聚焦定位特點(diǎn),能夠聚焦到比頭發(fā)的直徑還要小的多的超細(xì)微空間區(qū)域;
5、用飛秒激光進(jìn)行手術(shù),沒(méi)有熱效應(yīng)和沖擊波,在整個(gè)光程中都不會(huì)有組織損傷。
與傳統(tǒng)連續(xù)激光以及長(zhǎng)脈寬納秒、皮秒激光相比,飛秒激光加工材料具有如下特點(diǎn):
(1)峰值功率高,容易引起材料的解離。
(2)熱效應(yīng)小,加工精度高,在材料精密加工方面有**優(yōu)勢(shì)。
(3)應(yīng)用范圍廣。

 


激光刻蝕原理與典型應(yīng)用



1

基本原理

激光蝕刻的基本原理是將高能量的激光束(一般為紫外線激光、光纖激光、飛秒激光等)聚焦在極小的光點(diǎn)上,照射到被加工的材料表面,激光束的能量轉(zhuǎn)化為熱能,使材料瞬間蒸發(fā),形成孔、槽等加工效果。

 

2

技術(shù)特征介紹

以激光非接觸方式加工,高柔性、高速、無(wú)噪聲、熱影響區(qū)小、可聚焦至激光波長(zhǎng)級(jí)的極小光斑等,在打眼、劃片、刻蝕、切割尺寸精度和加工質(zhì)量方面,尤其是與某些材料(例如聚酰亞胺)相互作用屬于“光化學(xué)作用”的“冷加工”,可獲得無(wú)碳化效果的“冷加工”。

3

典型應(yīng)用

1)玻璃材料激光刻蝕
再現(xiàn)性好,功率大,材料去除速度快,無(wú)化學(xué)腐蝕污染。ITO涂層激光刻蝕機(jī)是利用激光在ITO Glass和ITO Film表面進(jìn)行ITO涂層刻蝕的精密設(shè)備。能在玻璃、PET、ITO鍍膜、多晶膜及其它氧化物薄膜上進(jìn)行各種不同尺寸的高精度、高速刻蝕,可加工多種規(guī)格的電極。特別適合手機(jī)觸摸屏的電極蝕刻技術(shù)。

2)太陽(yáng)能電池激光劃片
整體結(jié)構(gòu)合理,切割速度快,精度高,功能齊全,性能指標(biāo)穩(wěn)定可靠,故障率低,非接觸加工成品率高,適用范圍廣。



芯明天P12A壓電掃描臺(tái)

應(yīng)用于飛秒激光刻蝕



飛秒激光刻蝕通過(guò)精確控制激光的能量、脈寬、掃描速度等參數(shù),可以實(shí)現(xiàn)對(duì)金屬、玻璃等材質(zhì)表面的精密加工和刻蝕。相比于傳統(tǒng)的機(jī)械加工和化學(xué)腐蝕等加工方法,飛秒激光刻蝕具有更高的加工精度和速度,能夠?qū)崿F(xiàn)更精細(xì)的圖案和更復(fù)雜的結(jié)構(gòu)的加工。同時(shí),由于激光加工為非接觸式加工,可以避免機(jī)械應(yīng)力對(duì)材料的影響,降低了破損和誤差的可能性。


芯明天P12A系列壓電掃描臺(tái)可在飛秒激光刻蝕應(yīng)用中與載物臺(tái)固定連接在一起,在控制信號(hào)作用下帶載金屬、玻璃等材料進(jìn)行X、Z、XY、XZ、XYZ等多個(gè)維度的運(yùn)動(dòng)進(jìn)行刻蝕,P12A系列壓電掃描臺(tái)配置高分辨率傳感器,對(duì)位置實(shí)時(shí)檢測(cè)并反饋到壓電控制器,控制器通過(guò)PID算法調(diào)整電壓修正位移,從而實(shí)現(xiàn)納米級(jí)高精度定位。

圖片

技術(shù)參數(shù)

 

型號(hào)

P12A.XYZ100

運(yùn)動(dòng)自由度

XYZ

驅(qū)動(dòng)控制

3 路驅(qū)動(dòng)

3 路傳感

標(biāo)稱行程范圍

(0~120V)

80μm/

傳感器類型

SGS

通孔尺寸

45×45mm^2

閉 / 開(kāi)環(huán)分辨率

3nm/1nm

閉環(huán)線性度

0.15%F.S.

閉環(huán)重復(fù)定位精度

0.1%F.S.

俯仰 / 偏航 /  滾動(dòng)

<20μrad

推 / 拉力

20N/4N

運(yùn)動(dòng)方向剛度

X0.3N/μm、Y0.25N/μm、Z0.2 N/μm

空載諧振頻率

X200Hz/Y150Hz/Z120Hz

閉 / 開(kāi)環(huán)空載階躍時(shí)間

30ms/0.8ms

承載能力

0.5kg

靜電容量

3.6μF/

材質(zhì)

鋼、鋁

重量

350g

 


 

型號(hào)

P12A.XYZ200

運(yùn)動(dòng)自由度

XYZ

驅(qū)動(dòng)控制

3 路驅(qū)動(dòng)

3 路傳感

標(biāo)稱行程范圍

(0~120V)

160/軸

行程范圍(0~150V)

200/軸

傳感器類型

SGS

閉 / 開(kāi)環(huán)分辨率

5.5nm/2nm

閉環(huán)線性度

0.5%F.S.

閉環(huán)重復(fù)定位精度

0.4%F.S.

空載諧振頻率

X150Hz/Y130Hz/Z90Hz

承載能力

0.3kg

靜電容量

7.2μF/ 

材質(zhì)

鋼、鋁

 


配套控制器

E70系列壓電控制器
E70系列壓電控制器是可通過(guò)串口、USB或網(wǎng)口進(jìn)行數(shù)字通信的三通道壓電控制器。輸出電壓0~120V/150V,輸出帶寬達(dá)10kHz以上,且體積小,易集成。

圖片

E00/E01系列壓電控制器
芯明天E00/E01系列壓電控制器可用于驅(qū)動(dòng)P12A系列壓電掃描臺(tái),單通道、多通道、開(kāi)環(huán)、閉環(huán)多種型號(hào)可選,可通過(guò)模擬、數(shù)字等多種方式進(jìn)行控制。E00/E01還可通過(guò)模塊自由組合,實(shí)現(xiàn)驅(qū)動(dòng)芯明天及進(jìn)口各類壓電產(chǎn)品。
圖片

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