1.二維XZ向壓電納米定位臺(tái)特性 • 1~3維自由組合 • 位移行程8μm • 亞毫秒響應(yīng)時(shí)間 • zui大承載0.5kg • 重復(fù)定位精度可達(dá)納米級(jí) 外觀形狀 | 產(chǎn)品運(yùn)動(dòng)示意圖 | 直驅(qū)機(jī)構(gòu)式驅(qū)動(dòng)示意圖 |  |  |  |
小體積、高精度、響應(yīng)速度快 | | 傳感器類型 | 頻率負(fù)載曲線 | P63系列壓電納米定位臺(tái)zui重要的特點(diǎn)是超級(jí)精密且體積非常小巧，P63.XZ二維的尺寸僅為30×30×33mm（X軸尺寸為30×30×21mm），易于集成到任何掃描儀器中。 P63系列納米定位臺(tái)是超高精密納米定位系統(tǒng)，是為AFM、SPM、STM等顯微掃描納米操作等應(yīng)用而設(shè)計(jì)的，具有超低慣性，響應(yīng)時(shí)間可達(dá)0.3ms，可配置高精度閉環(huán)傳感器進(jìn)行高分辨率高速掃描。 | |  |  |
2.二維XZ向壓電納米定位臺(tái)應(yīng)用 • 光纖端面檢測(cè) • 納米壓印 • 納米計(jì)量 •微操控 • 納米光刻 •干涉法/ 掃描顯微/納米定位 •生物技術(shù)/半導(dǎo)體技術(shù) •質(zhì)量保證測(cè)試 •微加工/精密控制 應(yīng)用實(shí)例：納米切削 P63三維納米定位臺(tái)已經(jīng)應(yīng)用于基于SEM在線納米切削平臺(tái)切削力測(cè)試實(shí)驗(yàn)中。 
二維XZ向壓電納米定位臺(tái)技術(shù)參數(shù) 型號(hào) | 尾綴S-閉環(huán) | P63.XZ7S | P63.XZ7K | 單位 | 尾綴K-開環(huán) | 運(yùn)動(dòng)自由度 | X、Z | 同S | | 標(biāo)稱行程范圍（0 ~+120 V） | 5.5/軸 | 同S | µm±20% | zui大行程范圍（-20~+150 V） | 8/軸 | 同S | µm±20% | 傳感器類型 | SGS | - | | 分辨率 | 0.2 | 0.1 | nm | 線性度 | 0.2 | - | %F.S. | 重復(fù)定位精度 | 0.1 | - | %F.S. | 俯仰/偏航/滾動(dòng) | <10 | 同S | µrad. | 推/拉力 | 9/2 | 同S | N | 運(yùn)動(dòng)方向剛度 | X1.2/Z1.5 | 同S | N/µm±20% | 空載諧振頻率 | X1.5/Z1.6 | 同S | KHz±20% | 空載階躍時(shí)間 | 1.5 | 0.3 | ms±20% | 空載工作頻率* | 10%行程 | 500 | >200 | Hz±20% | 行程 | 100 | >50 | Hz±20% | zui大承載能力 | 500 | 同S | g | 靜電容量 | 0.8/軸 | 同S | μF±20% | 工作溫度范圍** | -20~80 | 同S | °C | 材質(zhì) | 鋁 | 同S | | 外形尺寸（長×寬×高） | 30×30×33 | 同S | mm | 重量 | 120 | 同S | g±5% | 出線長 | 1.5 | 同S | m±10mm | 傳感/電壓連接器*** | LEMO | 同S | |
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