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    XP-62系列壓電納米定位臺是采用封裝型壓電促動器直接驅(qū)動，具有大承載、響應(yīng)速度快、可靠性高和使用壽命長等優(yōu)點。內(nèi)置高 分辨率SGS傳感器進行全閉環(huán)運動控制，高諧振頻率和大拉力使得該系列納米定位臺適用于精密加工等領(lǐng)域。

XP-62系列壓電納米定位臺典型應(yīng)用

• 掃描顯微    • 半導(dǎo)體技術(shù)
• 生物技術(shù)    • 微加工/精密控制

XP-62系列壓電納米定位臺特點：

• 1~3維自由組合

• zui大行程68μm

• zui大承載10kg

• 重復(fù)定位精度可達0.05%F.S.

• 亞毫秒響應(yīng)時間

大負載、高剛度、高諧振頻率、高穩(wěn)定性
XP-62X系列壓電納米定位臺采用壓電陶瓷直驅(qū)機 構(gòu)，優(yōu)異的柔性鉸鏈設(shè)計，具有高剛度、高頻響等特 點，剛度可達40N/μm，空載諧振頻率高達4.2kHz， 適用于需要大負載、高頻率需求的應(yīng)用，如電化學加 工等。
XP-62X系列壓電平臺內(nèi)置帶有預(yù)緊力的封裝型壓 電陶瓷，平臺采用有限元建模分析、柔性鉸鏈導(dǎo)向機 構(gòu)，無磨損、免維護，提供*的穩(wěn)定性。
該產(chǎn)品易于與其他宏動臺產(chǎn)品集成配套，實現(xiàn)更大 行程的精密定位。

 宏微復(fù)合機構(gòu)

  XP-623.XY二維壓電納米定位臺配套二維宏動臺，應(yīng)用于精密加工中。

XP-62系列壓電納米定位臺技術(shù)參數(shù)：

以上參數(shù)是采用E00系列壓電控制器測得。